TESC7080 直流高壓電源

TESC7080

TESC7080系列電子卡盤高壓電源適用于靜電卡盤半導體加工應用,可在300ms內提供所需的精確電壓,并在 80ms內切換極性。這些定制設計,精準調節在半導體制程過程中提供保護。可提供對地參考可逆輸出極性,還可提供浮地雙極輸出并帶有相關的浮地接口。綜合的故障診斷電路監測電源功能,并將狀態數據傳送到用戶界面。采用緊湊、輕便封裝,可OEM。 

典型應用:E-Chuck;靜電卡盤

 

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產品特點

  • 對地參考,可逆輸出
  • 浮地,雙極性輸出
  • 極性可切換
  • 綜合故障診斷
  • 高壓安全聯鎖
  • 提供OEM 定制

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地址:大連市高新園區任賢街16號
電話:0411-84754522
郵箱:sales@teslamanhv.com
網址:www.zhayoujilb.com
泰思曼科技公眾號二維碼

產品規格

輸入電壓

+24VDC±5%,最大 2A。

輸出極性

浮地,雙極性輸出,極性可切換。

最大輸出電壓

0至±10kV。

最大輸出電流

3mA。

最大輸出功率

30W。

電壓調節

負載

轉換速率

典型 80ms(40ms可定制)。

最大循環頻率

10Hz。

過沖

<設定值的10%

紋波

10Vrms。

線路

在任何負載條件下,10%輸入電壓變化<0.1%

負載

從零到滿負載<1.3%。

上升和下降時間

上升時間(0V 至±2500V)和下降時間(±2500V 至0V)可分別編程,范圍為300ms至 9.9s(在最終電壓值的 1%以內)。

電壓顯示

分辨率=1V。 精度=實際輸出的±1%(±8V偏置)。

電流顯示

分辨率=1.25μ A。 精度=實際輸出±100μ A偏移的±2%。

典型負載電容

<20nF(對于其他負載電容,請聯系泰思曼)。

保護

電弧和短路保護。配備輸入和輸出電流限制。輸出電流限值可設置在0.1mA至3mA范圍內。 連續電弧保護方式需定制。

自動切換/解除卡盤功能

該裝置具有手動和用戶可配置的自動切換功能(消磁/去卡盤)。

通信

通過 RS-232/RS-485 串行接口或以太網進行控制。串行接口可通過前面板配置為 RS-232或RS-485。

注意

當以太網連接到 LAN 端口時,串行通信被禁用。

前面板控制

具有用于本地控制的前面板按鈕。

切換

手動改變輸出極性。

輸出開/關

軟開關方式控制高壓輸出。

旋轉控制/輸入

用于導航和輸入值更改。

穩定性

預熱 1 小時后,在恒定操作條件下,<0.1%/小時,<0.2%/8小時。

溫度系數

每攝氏度<50ppm。 滿載時<0.1%p-p,最大輸出。

環境溫度

工作時

0?C至45?C;

儲存時

-35?C至 85?C

濕度

0至85%RH,非冷凝。

冷卻

自然冷卻。